Schleifabwässer (Halbleiter /Glas / Keramik)
Industrie-Status
Typ Abwasser (Situation)
- Bei der Waferherstellung in der Photovoltaik, Mikroelektronik
Bearbeitungsprozess (Sägen, Läppen, Fasen)
- Schleif-, Kühl- und Reinigungsabwässer
Inhaltsstoffe (Si; SiO2; Tenside, Coolant)
- Bei der Porzellanbearbeitung; Medizintechnik
Bearbeitungsprozess (Schleifen, Kanten)
- Bei der Glasbearbeitung,Glasveredelung
Bearbeitungsprozess(Schleifen, Polieren)
Anforderungen/Bedarf
- Partikelentfernung
- Entfernung gelöster Inhaltstoffe/Einhaltung der Grenzwerte bei Einleitung (Antimon 0,3 mg/l; Barium 3 mg/l; Blei 0,5 mg/l)
- Unterbindung biologischem Wachstum durch Desinfektion bei der Kreislaufführung (UV, NaOCl, ClO2)
aktuelle Aufbereitungslösungen
- Flockung / Fällung / Kammerfilterpresse / Rückführung Klarphase
- Sedimentation / Sackfilter / Rückführung Klarphase
- Kuchenfiltration (Dead-End) / Filtratrückführung
- Vorhandene Membrantechnik / Filtratrückführung
Total Cost of Ownership (Betriebskostenrechnung)
Kostenbeispiel zur Tensidrückgewinnung bei einer Waschwasserfracht von 10 m³/h: Anlageninvest ca. 350.000 €
ohne Mikrofiltration |
Mikrofiltration |
Wasser/Abwasser |
4 €/m³ |
Wasser/Abwasser
Ausspeisung 2 m³/h (4320 m³/a) |
15.360 €/a |
Temperaturerhöhung Waschwasser |
0,5 €/m³ |
Energiekosten |
36.720 €/a |
Nachbehandlung (Flockung / Fällung) |
5 € /m³ |
Nachbehandlung |
32.400 €/a |
Tensidverbrauch |
6 €/m³ |
Tensidverbrauch |
38.880 €/a |
Gesamtkosten/m³ |
15,5 €/m³ |
Wartung / Verschleiß Membranmaterial / Reiniger |
86.000 €/a |
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Abschreibung (7 Jahre) |
78.571 €/a |
Gesamtkosten/Jahr
320d*24h*10m³*15,5€ |
1,19 Mio./a |
Gesamtkosten/Jahr |
0.29 Mio./a |
Aufbereitung von Schleifabwässern aus dem Halbleiter, Glas- und Keramikindustrie mittels Membran-Modulen
In der Glas- und Keramikindustrie sind das Schneiden, Schleifen und Polieren wesentliche Prozessschritte zur weiteren Bearbeitung geformter Werkstücke. Komplexe geometrische Formen werden mittels CNC-Maschinen herausgearbeitet. In diesen Prozessabläufen werden Werkstück und Bearbeitungswerkzeug mit Wasser oder einem flüssigen Kühlmedium gekühlt.
Des Weiteren kommen in anderen Bearbeitungsverfahren, wie dem Sägen, Kanten und Fasen bei der Wafer- bzw. Chipherstellung sogenannte „Sägeslurries“ zum Einsatz.
Die aus den mechanischen Bearbeitungsprozessen entstehenden Schleifabwässer beinhalten neben dem Werkstoffabrieb (abrasive Schleifpartikel) zusätzlich noch Chemikalien/Tenside, die zum verbesserten Abtransport der Wärme bzw. zur Reinigung der Werkstoffoberfläche eingesetzt werden.
Damit eine Rückführung der Schneid- bzw. Kühlflüssigkeit aus qualitativer und wirtschaftlicher Betrachtung als sinnvoll erachtet werden kann, muss eine Aufbereitung dieser Prozessflüssigkeiten durchgeführt werden. Dieser Anforderung, zur Entfernung abrasiver Partikel, wird sowohl die Crossflow als auch die Dead-End Filtration gerecht.
Herausforderung
Um den industriellen Bearbeitungsprozess von Glas- und Keramikwerkstoffen sowohl aus ökonomischer als auch ökologischer Sicht zu optimieren, stellt die Wiederverwendung bzw. die Aufbereitung des anfallenden Schleifabwasser einen wichtigen Aspekt zur Reduzierung der Herstellungs- bzw. Entsorgungskosten dar. Damit die verwendete Kühlflüssigkeit dem Bearbeitungsprozess wieder zugeführt werden kann, müssen sowohl der partikuläre Abrieb als auch gelöste Inhaltsstoffe je nach Anwendung und gesetzlichen Einleitgrenzwerten entfernt werden. Da es sich im Schleifabwasser um einen sehr feindispersen Partikelabrieb handelt, stellt sich die Anwendung klassischer Trennverfahren wie das Zentrifugieren als auch das Sedimentieren oftmals als schwierig dar. Darüber hinaus gilt es zu beachten, die chemische Zusammensetzung der eingesetzten Kühlflüssigkeit, insbesondere bei Zugabe von Reinigungsadditiven oder Coolants, durch ein geeignetes Aufbereitungsverfahren in ihrer Wirkung nicht wesentlich zu verändern.
Die Lösung
Sowohl die Crossflow-Mikrofiltration durch den Einsatz von Rohrmembranmodulen als auch die Dead-End Ultrafiltration mittels Hohlfasermodule ermöglichen eine kontinuierliche Abtrennung partikulärer Inhaltsstoffe aus den Schleifabwässern. Während die filtratseitig zurückgewonnen Komponenten wie Wasser und eingesetzte Chemikalien – ggf. weitere Reinigungsschritte – zu 90 % dem Bearbeitungsprozess wieder rückgeführt werden können, unterzieht sich das anfallende Konzentrat einer weiteren Nachbehandlung. Darüber hinaus vermindert ihre Eignung als Sterilfilter die Bakterienbelastung bei der Kreislaufführung.
Somit können große Mengen an Frischwasser eingespart und auch die eingesetzten kostenintensiven Chemikalien müssen nur bei Bedarf nachdosiert werden.
Durch die uneingeschränkte periodische Rückspülbarkeit mit Filtrat lassen sich trotz massiver chemischer und mechanischer Belastung hohe Fluxraten und Standzeiten gewährleisten.